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マイクロプラズマ静電除去器

動作原理

マイクロプラズマイオン化素子は、誘電体とその表面に形成した鋸状の微細電極により構成されています。
電極部に、このマイクロプラズマイオン化素子を搭載いたしました。
フラットで薄いため、板状に加工することが可能です。